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多晶硅回收后的清洗

2019-09-01 06:59:35    876次浏览

多晶硅硅料回收后的清洗方法,将多晶硅硅料置于混合酸液中进行避光浸泡1分钟~10分钟,混合酸液温度为30℃~35℃,后捞取,用纯水冲洗,再经超声冲洗、压缩空气鼓泡后烘干;混合酸液为腐蚀液,配比为硝酸∶氢氟酸∶冰乙酸的溶液体积比为57∶18∶25;硝酸浓度为68%~72%,氢氟酸浓度为38%~41%,冰乙酸浓度为99.8%~99.9%;纯度等级为MOS级或UP级。将多晶硅硅料置于混合酸液中避光浸泡前,可以在氢氟酸液中进行避光预浸泡,也可以先在溶解光阻的溶剂中进行避光浸泡。用本方法清洗的多晶硅硅料,表面光洁,无酸渍、水渍,其优点为清洗效果好,清洗成本低,操作难度低,易于控制清洗质量,提高了清洗收率。

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