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硅片等级标准区分

2019-09-01 07:00:40    845次浏览

一、优等品

1:硅片表面光滑洁净。

2:TV:220±20μm。

3:几何尺寸: 边长125±0.5mm;对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm; 边长103±0.5mm、对角135±0.5mm; 边长150±0.5mm 、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。 同心度:任意两个弧的弦长之差≤1mm。 垂直度:任意两边的夹角:90°±0.3。

二、合格品

一级品:

1:表面有少许污渍、轻微线痕。

2:220±20μm ≤TV≤220±30μm。

3:几何尺寸: 边长125±0.5mm;对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm; 边长103±0.5mm、对角135±0.5mm; 边长150±0.5mm 、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。 同心度:任意两个弧的弦长之差≤1.2mm。 垂直度:任意两边的夹角:90°±0.5。

二级品:

1:表面有少许污渍、线痕、凹痕,轻微崩边。

2: 220±30μm ≤TV≤220±40μm。

3:凹痕:硅片表面凹痕之和≤30μm。

4:崩边范围:崩边口不是三角形状,崩边口长度≤1mm,深度≤0.5mm

5:几何尺寸: 边长125±0.52mm;对角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm; 边长103±0.52mm、对角135±0.52mm; 边长150±0.52mm 、156±0.52mm、对角203±0.52mm、200±0.52mm。 同心度:任意两个弧的弦长之差≤1.5mm。 垂直度:任意两边的夹角:90°±0.8。

三级品:

1:表面有油污但硅片颜色不发黑,有线痕和硅落现象。

2:220±40μm ≤TV≤220±60μm。

3:硅落:整张硅片边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。

三、不合格品

严重线痕、厚薄片:TV>220±60μm。

崩边片:有缺损但可以改Φ103的硅片。

气孔片:硅片中间有穿孔 。

外形片:切方滚圆未能磨出的硅片。

倒角片(同心度):任意两个弧的弦长之差>1.5mm。

菱形片(垂直度):任意两边的夹角>90°±0.8。

凹痕片:硅片两面凹痕之和>30μm。

脏 片:硅片表面有严重污渍且发黄发黑。

尺寸偏差片:几何尺寸超过二级品的范围。

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